到貨通知:SU-8光刻膠2000系列、3000系列到貨啦
SU-8光刻膠常用2000系列、3000系列到貨啦,美國原裝進口,無需預定!無需等待!
新型的化學增幅型負像 SU-8 膠是一種負性、環氧樹脂型、近紫外線光刻膠,克服了普通光刻膠采用 UV光刻導致的深寬比不足的問題,十分適合于制備高深寬比微結構。
SU-8光刻膠的優點:
1、SU-8光刻膠在近紫外光(365nm- 400nm)范圍內光吸收度很低,且整個光刻膠層所獲得的曝光量均勻一致,可得到具有垂直側壁和高深寬比的厚膜圖形;
2、SU-8光刻膠具有良好的力學性能、抗化學腐蝕性和熱穩定性;
3、SU-8在受到紫外輻射后發生交聯,是一種化學擴大負性膠,可以形成臺階等結構復雜的圖形;
4、SU-8膠不導電,在電鍍時可以直接作為絕緣體使用。
由于具有較多優點,SU-8 膠正被逐漸應用于 MEMS、芯片封裝和微加工等領域。目前,直接采用 SU8 光刻膠來制備深寬比高的微結構與微零件已經成為微加工領域的一項新技術。在微流控芯片加工中,SU-8主要用于快速模塑法加工PDMS微流控芯片。
運用SU8光刻膠加工模具澆鑄PDMS芯片示意圖
標簽:   SU-8光刻膠